OMCVD Elaboration and Characterization of Silicon Carbide and Carbon-Silicon Carbide Films from Organosilicon Compounds - Détails de la publication

Production Scientifique P.S.

OMCVD Elaboration and Characterization of Silicon Carbide and Carbon-Silicon Carbide Films from Organosilicon Compounds

Auteur

R. Morancho, M. Amjoud, A. Reynes, and R. Carles

Revue

Materials Research Society symposia proceedings

Année

1992

DOI

DOI:10.1557/PROC-271-939

Chercheur

AMJOUD M'barek

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