Comparative study of decomposition by metal-organic chemical vapour deposition of tetraethylsilane and tetravinylsilane - Détails de la publication

Production Scientifique P.S.

Comparative study of decomposition by metal-organic chemical vapour deposition of tetraethylsilane and tetravinylsilane

Auteur

M'barek Amjoud, Alex Reynes, Roland Morancho and Robert Carles

Revue

Journal of Materials Chemistry

Année

1992

DOI

doi.org/10.1039/JM9920201205

Chercheur

AMJOUD M'barek

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