84- Chemical vapor deposition of Ge thin solid films using GeEt4. Study of the reaction mechanisms - Détails de la publication

Production Scientifique P.S.

84- Chemical vapor deposition of Ge thin solid films using GeEt4. Study of the reaction mechanisms

Auteur

J. El Boucham , M. Amjoud , R. Morancho , F. Maury , A. Yacoubi

Revue

Annales de Chimie Science des Matériaux

Année

1998

DOI

doi.org/10.1016/S0151-9107(98)80097-4

Chercheur

AMJOUD M'barek

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