Influencia del flujo díborano en la estructura de las películas de nitruro de boro depositadas por CVD - Détails de la publication

Production Scientifique P.S.

Influencia del flujo díborano en la estructura de las películas de nitruro de boro depositadas por CVD

Auteur

A. Essafti, C. Gómez-Aleixandre, J.M. Albella.

Revue

Boletin de la Sociedad Espanola de Ceramica y Vidrio

Année

1995

Chercheur

ESSAFTI ABDELHADI

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