study of boron nitride deposition process from diborane and ammonia gas mixtures - Détails de la publication

Production Scientifique P.S.

study of boron nitride deposition process from diborane and ammonia gas mixtures

Auteur

A. Essafti, C. Gómez-Aleixandre, J.M. Albella.

Revue

Vacuum

Année

1994

DOI

10.1016/0042-207X(94)90014-0

Chercheur

ESSAFTI ABDELHADI

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