Influence of diborane flow rate on the structure and stability of CVD boron nitride films - Détails de la publication

Production Scientifique P.S.

Influence of diborane flow rate on the structure and stability of CVD boron nitride films

Auteur

C. Gomez-Aleixandre, A. Essafti, M. Fernandez, J.L.G. Fierro,J.M. Albella.

Revue

Journal of Physical Chemistry

Année

1996

Chercheur

ESSAFTI ABDELHADI

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