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Structural characterization of RF-sputtered a-C:N thin films by Raman, IR, and X-ray reflectometry spectroscopies
Auteur
A. Essafti, E. Ech-Chamikh, Y. Ijdiyaou, M. Azizan.
Revue
Spectroscopy Letters
Année
2008
Chercheur
ESSAFTI ABDELHADI
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