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Annealing effects on RF sputter deposited a-Si/a-C multilayers

Auteur

E. Ech-Chamikh, A. Essafti, M. Azizan, F. Debbagh, Y. Ijdiyaou.

Revue

Journal of Nano Research,

Année

2008

Chercheur

ESSAFTI ABDELHADI

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